半導(dǎo)體外觀檢測(cè)和性能測(cè)試主要設(shè)備介紹

日期:2021-09-29 14:20:00 瀏覽量:2123 標(biāo)簽: 外觀檢測(cè) 性能測(cè)試

半導(dǎo)體設(shè)備即為利用半導(dǎo)體元件制造的電氣設(shè)備。半導(dǎo)體,指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料。半導(dǎo)體在收音機(jī)、電視機(jī)以及測(cè)溫上有著廣泛的應(yīng)用。如二極管就是采用半導(dǎo)體制作的器件。半導(dǎo)體是指一種導(dǎo)電性可受控制,范圍可從絕緣體至導(dǎo)體之間的材料。無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看,半導(dǎo)體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產(chǎn)品,如計(jì)算機(jī)、移動(dòng)電話或是數(shù)字錄音機(jī)當(dāng)中的核心單元都和半導(dǎo)體有著極為密切的關(guān)連。常見(jiàn)的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等,而硅更是各種半導(dǎo)體材料中,在商業(yè)應(yīng)用上最具有影響力的一種。而半導(dǎo)體測(cè)試主要是對(duì)芯片外觀、性能等進(jìn)行檢測(cè),目的是確保產(chǎn)品質(zhì)量。一起來(lái)看看半導(dǎo)體封裝測(cè)試主要設(shè)備:

減薄機(jī)

由于制造工藝的要求,對(duì)晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求。因此在幾百道工藝流程中只能采用一定厚度的晶片在工藝過(guò)程中傳遞、流片。通常在集成電路封裝前,需要對(duì)晶片背面多余的基體材料去除一定的厚度。這一工藝過(guò)程稱之為晶片背面減薄工藝,對(duì)應(yīng)裝備就是晶片減薄機(jī)。減薄機(jī)是通過(guò)減?。心サ姆绞綄?duì)晶片襯底進(jìn)行減薄,改善芯片散熱效果,減薄到一定厚度有利于后期封裝工藝。

劃片機(jī)

劃片機(jī)包括砂輪劃片機(jī)和激光劃片機(jī)兩類。其中,砂輪劃片機(jī)是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等技術(shù)的精密數(shù)控設(shè)備。主要用于硅集成電路,發(fā)光二極管,鈮酸鋰,壓電陶瓷,砷化鎵,藍(lán)寶石,氧化鋁,氧化鐵,石英,玻璃,陶瓷,太陽(yáng)能電池片等材料的劃切加工。國(guó)內(nèi)也將砂輪劃片機(jī)稱為精密砂輪切割機(jī)。

  激光劃片機(jī)是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。因激光是經(jīng)專用光學(xué)系統(tǒng)聚焦后成為一個(gè)非常小的光點(diǎn),能量密度高,因其加工是非接觸式的,對(duì)工件本身無(wú)機(jī)械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能電池板、薄金屬片的切割和劃片。

半導(dǎo)體外觀檢測(cè)和性能測(cè)試主要設(shè)備介紹

  測(cè)試機(jī)

  測(cè)試機(jī)是檢測(cè)芯片功能和性能的專用設(shè)備。測(cè)試時(shí),測(cè)試機(jī)對(duì)待測(cè)芯片施加輸入信號(hào),得到輸出信號(hào)與預(yù)期值進(jìn)行比較,判斷芯片的電性性能和產(chǎn)品功能的有效性。在CP、FT檢測(cè)環(huán)節(jié)內(nèi),測(cè)試機(jī)會(huì)分別將結(jié)果傳輸給探針臺(tái)和分選機(jī)。當(dāng)探針臺(tái)接收到測(cè)試結(jié)果后,會(huì)進(jìn)行噴墨操作以標(biāo)記出晶圓上有缺損的芯片;而當(dāng)分選器接收到來(lái)自測(cè)試機(jī)的結(jié)果后,則會(huì)對(duì)芯片進(jìn)行取舍和分類。

  分選機(jī)

  分選設(shè)備應(yīng)用于芯片封裝之后的FT測(cè)試環(huán)節(jié),它是提供芯片篩選、分類功能的后道測(cè)試設(shè)備。分選機(jī)負(fù)責(zé)將輸入的芯片按照系統(tǒng)設(shè)計(jì)的取放方式運(yùn)輸?shù)綔y(cè)試模塊完成電路壓測(cè),在此步驟內(nèi)分選機(jī)依據(jù)測(cè)試結(jié)果對(duì)電路進(jìn)行取舍和分類。分選機(jī)按照系統(tǒng)結(jié)構(gòu)可以分為三大類別,即重力式(Gravity)分選機(jī)、轉(zhuǎn)塔式(Turret)分選機(jī)、平移拾取和放置式(PickandPlace)分選機(jī)。

  探針機(jī)

  探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。探針臺(tái)的工作流程為:通過(guò)載片臺(tái)將晶圓移動(dòng)到晶圓相機(jī)下——通過(guò)晶圓相機(jī)拍攝晶圓圖像,確定晶圓位置——將探針相機(jī)移動(dòng)到探針卡下,確定探針頭位置——將晶圓移動(dòng)到探針卡下——通過(guò)載片臺(tái)垂直方向運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)對(duì)針。

以上便是此次創(chuàng)芯檢測(cè)帶來(lái)的“芯片性能測(cè)試”相關(guān)內(nèi)容,通過(guò)本文,希望能對(duì)大家有所幫助。如果您喜歡本文,不妨持續(xù)關(guān)注我們網(wǎng)站,我們將于后期帶來(lái)更多精彩內(nèi)容。如您有任何電子產(chǎn)品檢驗(yàn)測(cè)試的相關(guān)需求,歡迎致電創(chuàng)芯檢測(cè),我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)。

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